無(wú)塵車(chē)間 是指將一定空間范圍內(nèi)空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等污染物排除，并將室內(nèi)溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計(jì)的房間。

無(wú)塵車(chē)間究竟有什么用途？

無(wú)塵車(chē)間最主要的作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸大氣的潔凈度日常溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱(chēng)之為無(wú)塵車(chē)間。

無(wú)塵車(chē)間有什么標(biāo)準(zhǔn)？

無(wú)塵車(chē)間可以分為以下幾個(gè)級(jí)別：1級(jí)、百級(jí)、千級(jí)、萬(wàn)級(jí)、十萬(wàn)級(jí)、30萬(wàn)級(jí)、百萬(wàn)級(jí)。每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下，就達(dá)到了國(guó)際無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)的A級(jí)。目前應(yīng)用在芯片級(jí)生產(chǎn)加工的無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于灰塵的要求高于A級(jí)，這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以?xún)?nèi)，這也就是業(yè)內(nèi)俗稱(chēng)級(jí)別中的千級(jí)。

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